技术指标：

机械泵:抽速0.５（升／秒）,极限真空0.06（帕）,转速：1400（转／分）。

玻璃油扩散泵:  三级油扩散泵内60升/秒;极限压强是1╳10-5 Pa 4.

加油量为120ml—150ml

真空测量范围 ： -101.3kpa

真空测量分辨率：±0.001pa

特点：

由高真空镀膜工作室(NDWH-218B型纳米材料制备实验仪)、真空测量真空机组组成。可完成教学大纲中真空技术实验要求的多项内容。

本实验系统所用设备精小，且可根据实验的具体要求选择、增减设备进行组合。